光学石英镜片-诺立光学石英玻璃-光学石英

光学玻璃高精化的方法

 在线电解修锐法（elect roly tic inprocess dressing ， 简称elid 法） 早期的在线电解休整磨削对光学玻璃进行加工的方法，其得到的光学玻璃材料表面仍存在一些亚表面损伤和微裂纹，这些表面缺陷可以通过游离的磨粒进行抛光而去除。因而，人们想找到一种---的、能结合elld磨削的光整加工工艺。el id 磨削可用来进行硬脆材料的、率磨削，而mrf 可用来进行确定性形状的修正与抛光。本文提出结合mrf 与el id 磨削的组合工艺对各种光学材料(如玻璃透镜、碳化硅、硅晶玻璃等) 进行超精密加工的方法，即采用el id 磨削进行预抛光以率地获得高表面，然后采用mrf 以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合加工工艺可以在短时间内得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/ 20nm的形状精度。由此可见，该方法是可取的。